近日，SEMICON China 2019在上海新國際博覽中心成功召開，超過1000家來自全球的參展商參與了此次盛會，期間牛津儀器攜全套半導(dǎo)體解決方案參展。                       

SEMICON China 2019 牛津儀器展位

本次參展牛津儀器帶來了全套半導(dǎo)體材料納米制造和分析工具解決方案，其中包括了半導(dǎo)體激光器應(yīng)用的工藝解決方案、功率器件工藝的解決方案、MEMS&傳感器的工藝解決方案、生物醫(yī)學(xué)器件的工藝解決方案、整塊芯片微觀區(qū)域成份表征、同一機(jī)臺多個失效分析、通孔中的晶粒尺寸及微觀結(jié)構(gòu)差異表征、PN結(jié)中的摻雜元素表征、全新大樣品全自動原子力顯微鏡Jupiter XR表征等多角度全方位的方案應(yīng)用。

其中Jupiter XR為牛津儀器3月份剛剛發(fā)布的新一代大樣品全自動原子力顯微鏡，據(jù)牛津儀器相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，Jupiter XR可以對超過8寸的晶片進(jìn)行全方位的測試，掃描范圍最大可達(dá)100微米，掃描速度相比前代產(chǎn)品提高5-20倍，該儀器標(biāo)配了牛津儀器Asylum Research光熱激發(fā)blueDrive Tapping掃描模式，能夠?qū)崿F(xiàn)快速穩(wěn)定成像，從而實(shí)現(xiàn)同一根探針連續(xù)掃描1000次，粗糙度偏差僅小于1%?！芭＝騼x器在半導(dǎo)體領(lǐng)域有著全面系統(tǒng)的解決方案。我們有半導(dǎo)體領(lǐng)域的制備設(shè)備、能譜檢測設(shè)備以及快速掃描的全自動大樣品原子力顯微鏡檢測設(shè)備，具備一個整體綜合的解決方案。除了半導(dǎo)體領(lǐng)域，還可以廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、生物、地質(zhì)等領(lǐng)域。”牛津儀器相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴筆者。

本次參展，牛津儀器還帶來了一項(xiàng)重要的概念轉(zhuǎn)型：從lab 到fab。牛津儀器脫胎于牛津大學(xué)，以往大部分客戶是面向研發(fā)的，在學(xué)術(shù)界擁有卓著的口碑。從lab到Fab，則代表了牛津儀器對工業(yè)領(lǐng)域的高度重視。據(jù)牛津儀器相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，公司產(chǎn)品整體的性能和解決方案能力已經(jīng)提升到一個新的臺階上，特別在半導(dǎo)體領(lǐng)域，產(chǎn)品線已經(jīng)涵蓋了制備設(shè)備、生產(chǎn)優(yōu)化、質(zhì)檢分析、 粗糙度分析、失效分析等方方面面。因此公司在扎根科研市場的同時，將更多地從工業(yè)應(yīng)用角度切入，把已有的經(jīng)驗(yàn)、知識、新技術(shù)、拓展到工業(yè)大樣品領(lǐng)域發(fā)展。

牛津儀器參展商合影