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光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面不平度平均高度值Rz。按國家標(biāo)準(zhǔn)，表面光潔度級別與不平度平均高度值Rz的關(guān)系，如圖所示：
顯微鏡在測量時，所測量的表面范圍不少于五個波峰。
為使測量能正確而迅速地進(jìn)行，要求按圖所列數(shù)據(jù)選擇物鏡。
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光切法顯微鏡的Rz的關(guān)系
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