平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺規(guī)等量具測(cè)量面的不平度和兩相對(duì)測(cè)量面的不平行度。
平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺規(guī)等量具測(cè)量面的不平度和兩相對(duì)測(cè)量面的不平行度。
二.原理
平行平晶以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)衡量被測(cè)量面的誤差程度。