光學(xué)顯微鏡原理之可見光的波長約為400～700nm

可見光的波長約為400～700 nm
光學(xué)微影術(shù)主要包括：G-line(436nm)、I-line (365nm)、KrF(248nm/DUV)、ArF(193nm/VUV) 非光學(xué)微影術(shù)主要包括：EBL、XRL(7 13 nm)、IPL、EUVL(13nm)

光學(xué)微影術(shù)雖然能藉由波長較短的光源及其他種種修正技巧，將解析度往下推進(jìn)，但是進(jìn)步的空間終究有限，
因此發(fā)展出許多不同的制程技術(shù)，希望可以繼續(xù)縮小線寬，非光學(xué)微影術(shù)使用的波 長遠(yuǎn)比一般非光學(xué)微影術(shù)制程所使用的光源波長更小，
因此能提供更高的解析度。 除了 波段不同以外，以更精確的語言來說，應(yīng)該可以分為“傳統(tǒng)光學(xué)微影術(shù)”和“非傳統(tǒng)光學(xué)微影術(shù)”，借以區(qū)別兩個技術(shù)代的不同