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材料具有很多的優(yōu)異特性,如鐵電性、壓電性、焦電性,
因此被廣泛地應用在微電子元件中,其具有自發(fā)極化性且極化方向能藉由施加外加電場反轉,所以可以拿來當作記憶元件,也因此更使得鐵電材料被廣泛地研究;
由于鐵電薄膜的巨觀性質與其微觀的鐵電區(qū)有關,
所以量測薄膜的鐵電區(qū)結構與觀測其極化機制就顯得十分的重要;
因此需要具納米尺度的檢測技術,其中以掃描探針顯微術
(scanning probe microscopy)為適合進行作研究的工具之一,