電子顯微鏡使用激光波長514.5nm作為光源量測表面輪廓

擴展單波長相移干涉術對于縱向深度測量范圍。我們結合相移干涉術和雙波長干涉術，
得一較長的等價波長，并將兩種不同波長量測出的相位值相減，
使得量測表面輪廓的偵測器相鄰像素必須小于四分之一波長的限制得以擴展。

架設干涉顯微鏡，采用氦氖激光波長632.8nm和氬離子激光波長514.5nm為光源，
得一較長的等價波長2752.1nm。利用電腦控制PZT推動參考面產(chǎn)生五步相移，并采用Hariharan相移干涉術演算法，
及相位重建技術來求解初始相位差。
雙波長相移干涉術所得之結果其雜訊大于單波長相移干涉術的量測，
可利用雙波長相移干涉術的計算為參考來校正單波長相移干涉術量測產(chǎn)生的2π相位混淆，
最后以單波長相移干涉術經(jīng)校正的結果來重建表面輪廓。我們分別量測光柵和四階Fresnel偏轉鏡。