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PL光譜測量分析技術(shù)簡介-微熒光顯微鏡
微熒光光譜量測分析技術(shù)
PL光譜已經(jīng)是一個相當(dāng)成熟的非破壞性量測技術(shù)。透過PL光譜的分析,可檢測發(fā)光半導(dǎo)體中許多材料特征,
如能隙大小、雜質(zhì)活化能或化合物半導(dǎo)體的組成等特性,進而與其他檢測技術(shù)交叉比對。
當(dāng)入射光能量高于材料之能隙時,價帶(valence band)中的電子受到激發(fā)而躍升至導(dǎo)帶(conduction band),
形成電子-電洞對(electron-hole pair)。當(dāng)電子與電洞再次複合時,會產(chǎn)生熒光,稱為輻射性複合。
此外,電子與電洞也可能以非放光方式將能量釋出,亦稱為非輻射性複合。
當(dāng)導(dǎo)帶中的電子與價帶中的電洞彼此因庫倫作用力而束縛在一起時,稱之為激子(exciton)。由于激子具有束縛能,
會導(dǎo)致其複合時的能量將小于能隙的躍遷能量。