金相光學(xué)顯微鏡原理-分析材料的表面結(jié)構(gòu)
顯微鏡的分析原理,以最簡(jiǎn)單的金相光學(xué)顯微鏡為例,一可見(jiàn)光源經(jīng)過(guò)多種的光學(xué)透鏡折射聚焦與試片作用,
反射可見(jiàn)光回來(lái),藉由接收的可見(jiàn)光強(qiáng)度產(chǎn)生明顯的顏色與明暗對(duì)比來(lái)觀(guān)察分析材料的表面結(jié)構(gòu)。
其它顯微鏡大多也是建構(gòu)在相同的原理上,通常是藉由入射一具有能量的粒子束,利用不同透鏡聚散或偏折粒子束,
使粒子束撞擊試片,產(chǎn)生各種不同形式的二次粒子,最后利用各儀器不同的偵測(cè)器接收所對(duì)應(yīng)的二次粒子訊號(hào),
形成各式的影像或能譜來(lái)分析材料的結(jié)構(gòu)形貌與成分分佈。常見(jiàn)的粒子束,通??煞譃殡娮邮?、離子束以及X光束三類(lèi)。
而各儀器的分析特色,則主要決定于兩方面,一為入射粒子束和試片的作用,入射時(shí)的角度與入射粒子束的強(qiáng)度,
影響了試片作用的深度。另一方面則為二次粒子產(chǎn)生的速度以及偵測(cè)器的靈敏度,對(duì)于所接收到訊號(hào)強(qiáng)度有極大的影響,各種材料分析技術(shù)特性。