電化學(xué)分析儀器常識-微觀生物學(xué)實(shí)驗(yàn)顯微鏡

利用表面化學(xué)成份分析、電化學(xué)性質(zhì)的量測和表面型貌的觀察，
探討研磨液組成對銅和鉭化學(xué)-機(jī)械拋光的研磨速率以及研磨后表面粗糙度的影響。

使用的研磨液組成為H2O2、檸檬酸和Al2O3研磨粒子；測試的狀態(tài)有旋轉(zhuǎn)(旋轉(zhuǎn)電極儀)、研磨(化學(xué)-機(jī)械拋光機(jī)臺)
以及靜置三種條件。當(dāng)銅的測試狀態(tài)為旋轉(zhuǎn)，根據(jù)表面成份分析(XPS)和電化學(xué)性質(zhì)的量測結(jié)果，
在含0.0078 M檸檬酸的研磨液中，旋轉(zhuǎn)作用力會使得銅表面生成的氧化膜穩(wěn)定性降低，而且轉(zhuǎn)速愈快，
氧化膜的穩(wěn)定性愈差。此外，添加不同濃度的H2O2于0.0078 M的檸檬酸溶液中，
H2O2會促進(jìn)銅氧化膜的生成，氧化膜的種類以CuO和Cu(OH)2為主，而且當(dāng)H2O2濃度超過2 vol%以上，
濃度的增加有助于氧化膜的穩(wěn)定。