光學(xué)式表面粗糙度測(cè)量?jī)x器-精密測(cè)量顯微鏡

不同的材料對(duì)于光的反應(yīng)皆有所不同，以物理觀點(diǎn)來(lái)看，大致可分為可穿透元件及不可
穿透元件，且描述光的行為主要有反射、透射、散射、吸收。

材料的表面性狀也會(huì)對(duì)光的行為產(chǎn)生影響，諸如表面粗糙度、光吸收率、次表
面損傷及表面殘留應(yīng)力等，其中以表面粗糙度對(duì)于光的反應(yīng)能量為最清晰且最普遍可獲得
的。

針對(duì)不可穿透之材料表面粗糙度，做光散射的能量分析。

根據(jù)能量守恒定律，假設(shè)入射光的總能量沒(méi)有衰減，則 R+T+S+A=100%，其中R為鏡面
反射光能量、T為穿透光能量、S為散射光能量、A為吸收光能量。實(shí)驗(yàn)試片為不可穿透之金屬元
件，故穿透能量忽略不計(jì)，意指入射光能量分散在反射光、散射光及光吸收之中