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工件更準(zhǔn)確的輪廓量測工具顯微鏡廠商
投影彩色光柵量測之光場補(bǔ)償系統(tǒng),其具有光場補(bǔ)償功能,其可以線段投影法簡單算出待測工件之高度。
影像處理裝置先產(chǎn)生一用以投影且無光柵之影像,將該影像投影出去,
利用攝影裝置擷取該影像,并傳送回影像處理裝置進(jìn)行影像處理而成一帶有投影資訊之無
光柵的影像,另產(chǎn)生一有彩色光柵之影像,并以創(chuàng)新方法對該影像進(jìn)行補(bǔ)償。
如此可對無光柵影像或有彩色光柵影像進(jìn)行光場補(bǔ)償作業(yè),
使彩色光柵影像更為清楚,以對一待測工件進(jìn)行更準(zhǔn)確的三維輪廓量測與重建分析計算。
關(guān)鍵詞:線段投影,彩色光柵,三維輪廓量測