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微觀表面結(jié)構(gòu)鑒定研究的重要工具-電子顯微鏡

穿透式電子顯微鏡（TEM）穿透式電子顯微鏡分析技術(shù),
（1）包括各種材料試樣制備及場(chǎng)??發(fā)射式電子顯微鏡觀測(cè)與分析。
（2）其功能可做微細(xì)結(jié)構(gòu)的觀察分析,原子影像觀察;并可鑒定結(jié)構(gòu)形相為多晶,單晶或是非晶結(jié)構(gòu);
（3）并可利用TEM的特性做結(jié)構(gòu)性缺陷分析,鑒定缺陷種類及分析制程中的缺陷。

?原子力顯微鏡（AFM）屬于掃描探針顯微技術(shù)（SPM）的一種。
（1）AFM具有原子級(jí)解析力，其探針大多由矽制成，針尖曲率半約為10nm，
是微觀表面結(jié)構(gòu)研究的重要工具。
（2）主要原理系藉由針尖與試樣間的原子作用力，使懸臂梁產(chǎn)生微細(xì)位移，以測(cè)得表面形貌起伏，
（3）可應(yīng)用于多種材料表面檢測(cè)，包括表面形貌量測(cè)、粗糙度分析及表面結(jié)構(gòu)研究等。
（4）可區(qū)分為接觸式、非接觸式及輕敲式三大類