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光學(xué)鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測-測量顯微鏡
為非接觸式鏡片表面輪廓檢測儀器
用掃描白光干涉儀原理(Scanning White Light Interferometer)進行表面輪廓測量,
并藉由壓電轉(zhuǎn)換器(Piezo-electric Transducer,PZT)帶動垂直方向掃描,
進而推算出三維的表面輪廓結(jié)構(gòu),
因此本系統(tǒng)適用于表面有高低起伏的輪廓結(jié)構(gòu)工件與其表面粗糙度測量,
例如一般光學(xué)鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測。本儀器為非接觸式檢測,可避免一般使
用探針式的機械測量方式,容易造成鏡片表面刮傷