(版權(quán)由上海光學(xué)儀器廠所有, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明我廠網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)

顯微鏡觀察透明水凝膠材料上的細(xì)胞輪廓

繞射式光學(xué)元件為了要提升效率，會(huì)將元件制作成多位階
(Multiple Level)的形式。傳統(tǒng)的做法，會(huì)用多片不同的光罩，經(jīng)過多
次曝光、顯影與蝕刻的步驟，將元件制作出來。但這個(gè)過程過于繁復(fù)，
容易造成制作上的困難與誤差。然而灰階光罩(Gray Level Mask)技術(shù)
改進(jìn)了制作方式。利用灰階光罩，只需一次的曝光、顯影與蝕刻步驟，
即可做出高效率的繞射式光學(xué)元件。

激光直寫玻片(Laser Direct Write Glass，LDW Glass)，
這是一種利用激光束寫入灰階圖案的玻璃片，用來制作灰階光罩。

用波長(zhǎng)為 442nm 與 532nm 的激光當(dāng)作光源，以顯微鏡物鏡(NA=0.1、0.25、0.4)
聚焦寫入玻片。
量測(cè)了玻片之穿透率譜線以及不同顯微鏡物鏡之聚焦效果，最小光點(diǎn)大小約 2μm。
測(cè)試了激光寫入光強(qiáng)、時(shí)間、速度與玻片穿透率之間的關(guān)系。

制作出光柵之灰階光罩，并成功制作出表面起伏連續(xù)變化的閃耀式光柵。
其中周期分別為 46μm 與 15μm，品質(zhì)因子(Quality Factor)為 0.9 與 0.83。
并以光學(xué)顯微鏡，電子式顯微鏡，原子力顯微鏡來觀測(cè)元件，
加以印證灰階光罩技術(shù)的成果