顯微硬度計的特點和作用配備自動分析軟件
顯微、微小硬度計用于測定氧化層、氮化層、滲碳層、氰化層及
其他金屬材料表面層的硬度,亦可用于測玻璃、瑪瑙等非金屬材料的
硬度。
另外,它在用作金相顯微組織研究時,可以觀察和拍攝各種材料
的顯微組織,并測定金相組織的顯微硬度。
該硬度計系全自動加卸負(fù)荷,負(fù)荷和保持負(fù)荷時間采用數(shù)字顯示。
它用程控定時電路,測微目鏡采用一次讀數(shù)式,并采用瞄準(zhǔn)精度
高的虛線加點與雙線并用的分劃板。還附有照相裝置,使用極為方便。
配備上海光學(xué)儀器一廠自行研發(fā)的自動硬度分析軟件,大大提高
精確度和效率
上海光學(xué)儀器一廠平面度測試儀的主要作用
平面度測試儀主要用于半導(dǎo)體制造工業(yè),測量拋光硅片和高分辨
率照相版的平面度,以保證硅片光刻和掩膜版復(fù)制的精度與質(zhì)呈,亦
可用于測量光學(xué)玻璃、陶瓷和金屬材料制成的平板平面度。
該測試儀運用光波斜入射干涉法測量平而度。它是由本體和棱鏡
附件組等組成。棱鏡附件組有基準(zhǔn)面尺寸分別為150 x 92, 88 x 54,
64 x 41 , 48 x 30四種規(guī)格的棱鏡,工作時按被
測物面積大小選擇使用,被測面相對棱鏡基準(zhǔn)面是非接觸式,由
靠近棱鏡的三個支撐點支撐被測面。
棱鏡附件通過V 形平面導(dǎo)軌定位、支承。轉(zhuǎn)動鎖桿,借助于本體
底座上螺紋,將棱鏡座緊鎖,由于鎖緊方向和定位方向一致,故定位
精確、固定可靠,定位精度可達(dá)3"以上。
棱鏡基準(zhǔn)面和水平面成77°傾斜,消除了被測物亞力變形的影響。
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