光學(xué)計(jì)量?jī)x器的顯微設(shè)計(jì)的特點(diǎn)-測(cè)量顯微鏡廠商
光學(xué)計(jì)量?jī)x器的顯微系統(tǒng)的特點(diǎn)
光學(xué)計(jì)量?jī)x器中顯微系統(tǒng)可分兩類:一類是用來(lái)觀察物體表面微
觀輪廓(如表面光潔度)
另一類是用來(lái)瞄準(zhǔn)或讀數(shù)的。前者主要考慮分辨率,并由它決定
其數(shù)值孔徑、放大率等一系列參數(shù);后者則從瞄準(zhǔn)、讀數(shù)精度出發(fā)來(lái)
決定其參數(shù)的。由此可知,它們的結(jié)構(gòu)參數(shù)是不同的:
1.放大率
用于分辨細(xì)節(jié)的顯微系統(tǒng),希望有較大的放大率,對(duì)某些儀器它
只是名義值。而用于瞄準(zhǔn)、讀數(shù)顯微鏡。顯微系統(tǒng)其放大率不高(一般不
超過(guò)100 倍)但其物鏡的放大率必須嚴(yán)格準(zhǔn)確,否則它會(huì)直接造成測(cè)
量誤差。因此在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮其結(jié)構(gòu)形式,便于裝配、調(diào)整其放大率
到準(zhǔn)確的數(shù)值。
2.數(shù)值
孔徑由分辨率就決定了用作微觀觀察的顯微系統(tǒng)應(yīng)具有較大的數(shù)
值孔徑;而瞄準(zhǔn)用的系統(tǒng)其放大率不高,數(shù)值孔徑也必然較小,系統(tǒng)
的景深也就較大,因此這類系統(tǒng)不能用作光軸方向的精密定位。
3.視場(chǎng)
由拉格朗日不變量可以知道,一個(gè)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑和視場(chǎng)不能同
時(shí)都增大。數(shù)值孔徑大的系統(tǒng),視場(chǎng)較小;而數(shù)值孔徑小時(shí),可以有
較大的視場(chǎng)。
4.工作距離
用于微觀觀察用的顯微系統(tǒng),其工作距離都很短,使用上也沒(méi)有
什么特別要求;而瞄準(zhǔn)、定位用的顯微系統(tǒng),往往要求有較長(zhǎng)的工作
距離。
5.光闌位置
在普通的顯微系統(tǒng)中,對(duì)光闌的位置沒(méi)有什么要求,設(shè)計(jì)者可根
據(jù)校正象差的需要或結(jié)構(gòu)尺寸的要求來(lái)自行安排,往往就選取在物鏡
框上,
(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)
合作站點(diǎn):http://www.xianweijing.org/