光學(xué)計(jì)量?jī)x器的顯微設(shè)計(jì)的特點(diǎn)-測(cè)量顯微鏡廠商

光學(xué)計(jì)量?jī)x器的顯微系統(tǒng)的特點(diǎn)
 
  光學(xué)計(jì)量?jī)x器中顯微系統(tǒng)可分兩類：一類是用來(lái)觀察物體表面微
觀輪廓（如表面光潔度）
  另一類是用來(lái)瞄準(zhǔn)或讀數(shù)的。前者主要考慮分辨率，并由它決定
其數(shù)值孔徑、放大率等一系列參數(shù)；后者則從瞄準(zhǔn)、讀數(shù)精度出發(fā)來(lái)
決定其參數(shù)的。由此可知，它們的結(jié)構(gòu)參數(shù)是不同的：

  1.放大率
  用于分辨細(xì)節(jié)的顯微系統(tǒng)，希望有較大的放大率，對(duì)某些儀器它
只是名義值。而用于瞄準(zhǔn)、讀數(shù)顯微鏡。顯微系統(tǒng)其放大率不高（一般不
超過(guò)100 倍）但其物鏡的放大率必須嚴(yán)格準(zhǔn)確，否則它會(huì)直接造成測(cè)
量誤差。因此在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮其結(jié)構(gòu)形式，便于裝配、調(diào)整其放大率
到準(zhǔn)確的數(shù)值。

  2.數(shù)值
  孔徑由分辨率就決定了用作微觀觀察的顯微系統(tǒng)應(yīng)具有較大的數(shù)
值孔徑；而瞄準(zhǔn)用的系統(tǒng)其放大率不高，數(shù)值孔徑也必然較小，系統(tǒng)
的景深也就較大，因此這類系統(tǒng)不能用作光軸方向的精密定位。

  3.視場(chǎng)
  由拉格朗日不變量可以知道，一個(gè)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑和視場(chǎng)不能同
時(shí)都增大。數(shù)值孔徑大的系統(tǒng)，視場(chǎng)較小；而數(shù)值孔徑小時(shí)，可以有
較大的視場(chǎng)。

  4.工作距離
  用于微觀觀察用的顯微系統(tǒng)，其工作距離都很短，使用上也沒(méi)有
什么特別要求；而瞄準(zhǔn)、定位用的顯微系統(tǒng)，往往要求有較長(zhǎng)的工作
距離。
  5.光闌位置
  在普通的顯微系統(tǒng)中，對(duì)光闌的位置沒(méi)有什么要求，設(shè)計(jì)者可根
據(jù)校正象差的需要或結(jié)構(gòu)尺寸的要求來(lái)自行安排，往往就選取在物鏡
框上，

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