鍍層微觀結(jié)構(gòu)測定用光學(xué)顯微鏡-放大倍率為1500倍
觀察微觀組織形貌的目的是了解薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)所決定的外部幾何特征,
包括表面形貌、斷口形貌和金相組織特征。
鍍層的微觀形貌是分析其生長機(jī)理、力學(xué)性能和物理性能的重要依據(jù)。
光學(xué)顯微鏡是最普通的形貌觀察手段。其最高放大倍數(shù)為1500倍?,F(xiàn)代
光學(xué)顯微鏡發(fā)展了大量的附加裝置,因而使其功能大為擴(kuò)展。例如偏振光、
高溫載物臺、加載裝置等。
還可以和圖象分析儀聯(lián)用。
光學(xué)顯微鏡實(shí)驗(yàn)研究的重要問題是試樣制備,其關(guān)鍵在于防止鍍層在研
磨過程中破損。為了顯示鍍層組織,除化學(xué)刻蝕外,還可采用離子束刻蝕和
相襯干涉層等辦法。
光學(xué)顯微鏡的局限性首先在其較低的分辨率。一般而言,顯微鏡的分辨
率約等于其所用光線的波長。因此,可見光波長的下限(約2500埃)決定了
光學(xué)顯微鏡分辨率的極限。這對于了解微觀形貌的細(xì)節(jié)顯然是不夠的,光學(xué)
顯微鏡的另一局限性是景深較小,
因而不適用于斷口觀察,對于拋光磨片也只能用到500 倍,更高的放大
倍數(shù)則要求采取特殊措施。
盡管如此,由于光學(xué)顯微鏡設(shè)備價廉,操作簡便,能夠迅速給出鍍層厚
度及其內(nèi)部組織的概貌,它至今仍不失為觀察鍍層微觀形貌的一種基本實(shí)驗(yàn)
方法
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