光學(xué)顯微鏡能將微細(xì)物體放大成像便于人們觀察
將微細(xì)物體放大成像便于人們用肉眼觀察是光學(xué)顯微鏡的主要功能。光
學(xué)顯微鏡作為觀察金屬材料微觀組織的手段應(yīng)用極為廣泛。然而,由于受到
可見光波長(400- 760nm)的限制,其分辨率最大為200 nm,最大放大倍數(shù)
為((5^-2) X 10 立方,遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足現(xiàn)代科技發(fā)展的需求。
隨著科技的發(fā)展,相繼出現(xiàn)了一系列高分辨本領(lǐng)的顯微分析儀器,其中
有以電子束特性為技術(shù)基礎(chǔ)的電子顯微鏡(透射電子顯微鏡、掃描電子顯微
鏡等);以電子隧道效應(yīng)為技術(shù)基礎(chǔ)的掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等;
以場離子發(fā)射為技術(shù)基礎(chǔ)的場離子顯微鏡和以場電子發(fā)射為技術(shù)基礎(chǔ)的場發(fā)
射顯微鏡等。
這些新型的顯微鏡不但其分辨本領(lǐng)大大提高,可以達(dá)到原子尺度水平
(約0. 1 nm ),更值得一提的是,它們在獲得高分辨圖像的同時還可獲得
物質(zhì)結(jié)構(gòu)的其他信息,即當(dāng)附加人其他信息探測、分析器后,便可兼?zhèn)涠喾N
分析功能(如圖像顯示、結(jié)構(gòu)分析和成分分析等)。
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