顯微制造與微型電鑄
顯微制造或者說顯微機械加工(micromachining)是從半導(dǎo)體器
件生產(chǎn)到集成電路制造一直在采用的高新技術(shù)。在微電子技術(shù)時代,
顯微制造已經(jīng)是不可或缺的現(xiàn)代加工技術(shù)。但是,我們以往所知
道的顯微制造,最多的還是顯微光刻和顯微蝕刻,而很少聽說微型電
鑄。但是,在微型機器入等微型器件的研制進入實用化以后,微加工
技術(shù)中的微型電鑄很快成為一個重要的加工方法。這種方法實際還是
在微蝕方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的微加工方法
使電鑄成型體裸露出來,從基板上取下,即為電鑄成品。
這種微加工技術(shù)當(dāng)初是為了研制光導(dǎo)纖維連接器和光導(dǎo)開關(guān)而進
行的工藝技術(shù)開發(fā)。現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)展成為微加工制造中的重要加工方法。
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