上海光學(xué)儀器工具顯微鏡測(cè)量精度-光學(xué)影像測(cè)量?jī)x
工具顯微鏡的測(cè)量精度,主要決定于移動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)精度。
也就是把移動(dòng)工作臺(tái)上判別精度的標(biāo)準(zhǔn)尺的刻度方向設(shè)置在與工作
臺(tái)移動(dòng)方向相一致的方向,
利用此標(biāo)準(zhǔn)尺使工作臺(tái)作一定長(zhǎng)度的移動(dòng),此時(shí)要讀出工具顯微鏡
值的檢測(cè)部分的顯示值,求出它和標(biāo)準(zhǔn)尺上長(zhǎng)度之差,即所謂測(cè)定
累積誤差的方法。
在測(cè)量工具顯微鏡的工作臺(tái)上可安裝各種附屬裝置,因?yàn)槎喟胧菑墓ぷ?br>臺(tái)表面到高150毫米左右的
范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)定。所以,必須在這個(gè)位置上求其.測(cè)量精度。這個(gè)
高度越大,由于違反阿貝原理而產(chǎn)生的測(cè)量誤差當(dāng)然也就會(huì)越大。
因此,作者就他設(shè)計(jì)的JPC工具顯微鏡和過(guò)去采用塊規(guī)和
測(cè)微器方式的上海光學(xué)儀器大型工具顯微鏡,用上述的檢查方法測(cè)定
旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)臺(tái)面上的累積誤差
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