運(yùn)動部分

  移動被測零件的十字運(yùn)動工作臺的移動范圍，左右為150毫
米，前后為50毫米，對這種運(yùn)動的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用的(x一y)方向
復(fù)合運(yùn)動的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。

另外，十字運(yùn)動工作臺上設(shè)置被測零件的定位裝旦和為測量角度
而用的旋轉(zhuǎn)臺。

對這種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的機(jī)構(gòu)，闡述的Y方向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，以提高
舉動的精度。其次，為了能夠測量高度大的被測零件，

使比較顯微鏡較之過去(100^-150毫米)上下方向移動范圍要大些
(170毫米).此時，在高出工作臺的導(dǎo)軌表面的較高平面內(nèi)進(jìn)行測量，

因為由于不能滿足阿貝原理而產(chǎn)生誤差，這就需要比過去更加提高
導(dǎo)軌表面的精度。因之，以工作臺臺面作為基準(zhǔn)位置，
此位置的尺寸測量精度應(yīng)設(shè)計在±2微米以內(nèi)。

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