金屬管芯截取的試樣金相分析用圖像顯微鏡

  被截取的試樣分為兩類，類包括不同裝配階段的器件。按其復(fù)雜的
程度它們可從沉積著某種單一金屬的金屬化層（例如，在硅上沉積鋁）
的半導(dǎo)體管芯起，到用焊錫、共晶合金或有機(jī)粘結(jié)利附著在管座上并連
接上各種規(guī)格的細(xì)導(dǎo)線（直徑往往小于1 密耳）

  的金屬化管芯為止。另一類是半導(dǎo)體本身，可以在加上它的全部金
屬化和電解質(zhì)附加層之前，或者是在附加層被除去之后。

  顯然，第一類將需要某些預(yù)防措施，因?yàn)檐浀慕饘偃菀妆慌K，并
且截取過程中可能使無支撐的絲斷裂，而第二類無需這種預(yù)防措施。為
了放大和隨后的腐蝕和（或）染色，第二類更加經(jīng)常需要小角度傾斜研
磨，而且一般是很難用手拿著處理的。尤其是那些有金屬化層的試樣幾
乎總是要鑲裝在支撐塑料中，而那些無金屬化層的通常不需要如此。隨
后的厚度測定常常是在后者上面進(jìn)行的，

  斜截（磨角）拋光斜截（磨角）技術(shù)有若干變種，

  固定器將作為一種基本工具。固定器的大小可以改變以適應(yīng)不同尺
寸的試樣。固定器的外環(huán)由黃銅或軟鐵制成，這兩種金屬中的任何一種
在玻璃磨盤表面滑動(dòng)時(shí)都具有很小的阻力。采用圓形外環(huán)進(jìn)一步保證了
平滑的滑動(dòng)。兩種金屬中黃銅較好，因?yàn)樗粫?huì)生銹。如采用鐵，

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