試件表面有鍍層樣品適合使用哪種顯微鏡測(cè)量

  如果試件表面全部都有鍍層，而鍍層透明時(shí)
仍可用干涉顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。這時(shí)在視場(chǎng)里可以看到二組干
涉條紋:一組由鍍層表面產(chǎn)生;一組由襯底表面產(chǎn)生。

由于表面反射系數(shù)差異，二組條紋襯度也有差別，因此很
容易測(cè)量

孔徑光闌的選擇

  孔徑光闌大小不但控制了視場(chǎng)亮度，而且控制了物鏡的
數(shù)值孔徑。光欄大，物鏡孔徑也大，鑒別率也高。但孔徑大
時(shí)，對(duì)儀器各部分要求也高，所以大孔徑時(shí)一般干涉條紋質(zhì)量

沒(méi)有小孔徑時(shí)好。故孔徑光闌不一定是開(kāi)得愈大愈好，至少
不能大于物鏡的孔徑。即拿掉目鏡，用眼睛直接在目鏡管里

觀察時(shí)，孔徑光闌不能大于物鏡框的直徑，否則孔徑光闌發(fā)出
的光線不能進(jìn)入物鏡，反而造成有害的雜亂光線。其次對(duì)于
測(cè)量▽10,▽11,▽12表面，孔徑光闌應(yīng)適當(dāng)縮小，以保證測(cè)
量深度范圍和提高條紋的對(duì)比。即使測(cè)量工件光潔度為▽13,
▽14，為了提高條紋的對(duì)比，也可以稍稍縮小孔徑光闌。

用目視估計(jì)方法測(cè)量表面光潔度

  用干涉顯微鏡測(cè)量光潔度，為了方便起見(jiàn)，往往采用目視
方法。估計(jì)干涉條紋的彎曲量為干涉條紋寬度的幾倍或幾分
之一，

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)