新改進(jìn)的干涉輪廓儀有哪些特點(diǎn)

  顯微干涉輪廓儀結(jié)構(gòu)的主要要求，是放被檢零件的工作臺(tái)和
干涉頭聯(lián)結(jié)的剛性要好，必須保證干涉條紋對振動(dòng)的靈敏度為最
小。在調(diào)整結(jié)構(gòu)方面，三個(gè)相互垂直方向精密移動(dòng)被檢表面13和
繞其兩軸轉(zhuǎn)動(dòng)，要求有很靈巧的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。另外，為了使兩路相
干光束的光程相等，沿光軸方向精密移動(dòng)物鏡和棱鏡也值得注意。

  檢查零件內(nèi)表面光潔度的顯微干涉輪廓儀在顯微干涉輪廓
儀里，狹縫成像在被檢表面上,這就使我們不僅可以檢查有不規(guī)
則加工痕跡的表面，而且便于圓柱表面的檢查。實(shí)際上如果狹縫
像平行于圓柱母線，則儀器視場中看到直條紋，其寬度是不變
的，與圓柱直徑無關(guān)。特別有價(jià)值的，是顯微干涉輪廓儀還可以
用來檢查光潔度等級(jí)高的內(nèi)圓柱表面，過去，沒有檢查內(nèi)回柱表
而光潔度的儀器，只能對主要零件進(jìn)行抽檢，先要把它切開，然
后在干涉顯微鏡上檢驗(yàn)

  檢查內(nèi)表面的顯微干涉輪廓儀,用三物鏡系統(tǒng)(即用于干涉指
示儀中的系統(tǒng))。這種系統(tǒng)可以采用任意高倍數(shù)的顯微物鏡，

此外可避免一支光束倒轉(zhuǎn)

  顯微干涉輪廓儀的缺點(diǎn)，是視場照度明顯地比干涉顯微
鏡低得多，因?yàn)樗荒苡迷趦蓚€(gè)方向都擴(kuò)展的光源，而采用窄的發(fā)
光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調(diào)整變得
復(fù)雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規(guī)
則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。

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