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電鍍層等表面的微觀粗糙度測量顯微鏡應用
光切顯微鏡又稱雙管顯微鏡,它屬于輪廓瞬即轉(zhuǎn)換、
非接觸式儀器。在工廠中應用廣泛,
光切顯微鏡可用來測量機械加工及類似方法加工的金屬零件
的平面和外圓表面,也可用來觀察木材、塑料、紙張、
電鍍層等表面的微觀不平度。對大型零件與內(nèi)表面的粗糙度,
可采用印模法復制被測表面模型,然后再用光切顯微鏡進行
測量。光切顯微鏡一般可評定Ra.0.32-20μm,Rz:1.6~80μm的
表面粗糙度
光切顯微鏡由兩鏡管組成,一個為照明鏡管,另一個為目
鏡管,兩鏡管軸線互成90。
光源通過聚光鏡照明狹縫,然后通過物鏡狹縫
成像在被測表面上。狹縫像被表面反射后,通過物鏡成像在
分劃板上,然后通過目鏡(或目鏡測微計)觀測,也可
通過顯微成像采集。狹縫的像實際上就代表著窄光帶以45°
角截取的放大的表面輪廓。
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