光學(xué)截面適用于粗糙度Ra值范圍為2-200微米的表面
把表面截面切片用顯微鏡檢查表面的輪廓。
另一種方法是光學(xué)截面法,可以產(chǎn)生幾乎同樣的結(jié)果,
但容易得多,且是無損檢查的方式。
用很窄的光畫出被測表面的一個截面輪廓,再用放在某一角度上
的顯微鏡觀看。照光角和觀察角都同表面成45°,
這是產(chǎn)生最清楚輪廓的條件.
光學(xué)截面法適用于粗糙度Ra值范圍為2-200微米的表面.
對軟的表面很適用,因為它會被其它儀器的測頭弄得變形,
也適用于測量刻線的深度等,
有一種測量表面的光學(xué)方法是利用光的干涉。當(dāng)光從兩
個不平行的表面反射時,從表面各方面反射的路線長度不一致,
對觀察者反射時產(chǎn)生一個相位的變化,結(jié)果有些光互相
抵消,有的互相千擾,形成暗的和亮的條紋.這些條紋的間
距和形狀依靠表面和反射鏡的規(guī)則性而定。紋理的微觀不平
度變換為千涉條紋的高低不平,在規(guī)定的觀測條件
下,從條紋的位移可以測最出粗糙度的高度。
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