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測量平均表面粗糙度-輪廓測量光學(xué)顯微鏡應(yīng)用

  表面粗糙度的測量及統(tǒng)計特性的確定在科學(xué)與工程上和許多領(lǐng)
域中是重要的，雖然的許多方法可以達(dá)到此目的， 但廣泛使用
并普遍采用的測量表面粗糙度的唯一的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)也許是機械輪廓
儀。利用這種儀器，表面可用一細(xì)窄的金剛石探針輕輕地直接掃
描，產(chǎn)生一個與輪廓表面高度比例的時間變化的電壓輸出。如果
探針針尖的寬度比表面不規(guī)則性的橫向尺度小，探針型輪廓儀肯
定提供表面輪廓的真實信息。

  雖然，探針型輪廓儀可提供有用的數(shù)據(jù)，可以廣泛地被用來測
量表面粗糙度，

但它有兩個主要缺點：

（1）由于表面直接與金剛石探針接觸，因此會損壞被檢工件的表面；

（2）它通常是測量平均表面高度偏差，而不能測量表面粗糙度的相關(guān)
長度或平均梯度，

當(dāng)然，相關(guān)長度與平均梯度可以通過取輸出電信號的自相關(guān)來得到
，但這樣一種處理限于實驗室研究。由于它總是要求與表面直接
接觸，因此對于工業(yè)應(yīng)用來說，一般僅從大量加工過的零件中取
出幾個樣品，用輪廓儀測量。而且輪廓儀只給出二維信息，因而
并末實際地。

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