形狀和表面粗糙度測(cè)量?jī)x-光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用簡(jiǎn)介

  超精密形狀和表面粗糙度測(cè)量?jī)x的開發(fā)在超精密加工工件表
面粗糙度的測(cè)量分析中。高分辨率的表面測(cè)量是必不可少的，對(duì)
于高分辨率的表面形狀測(cè)量?jī)x器，測(cè)量時(shí)觸針的振動(dòng)范圍是一個(gè)
非常重要的參數(shù)。如果觸針振動(dòng)量越大，就更難以保證高的分辨
率。

  測(cè)量?jī)x和測(cè)量的設(shè)定誤差在進(jìn)行產(chǎn)品的加工過(guò)程中。由加工
設(shè)備產(chǎn)生的誤差是不能完全避免的。因此，在進(jìn)行高精度的測(cè)量
時(shí)，正確掌握測(cè)量誤差的產(chǎn)生來(lái)源是非常重要的，只有這樣才能
得到真正的測(cè)量值，如前面所述的觸針前端形狀誤差等。

  測(cè)量結(jié)果的利用精密測(cè)量結(jié)果對(duì)超精密加工具有非常重要的
意義。以非球面鏡片模具的呻吟工為例，其加工過(guò)程在整個(gè)加工
過(guò)程中，對(duì)非球面模具的測(cè)量是非常重要的一項(xiàng)工作。從整個(gè)加
工流程來(lái)看，非球面模具的面形精度勢(shì)必獎(jiǎng)影響最后的產(chǎn)品精度。
  前次測(cè)量的結(jié)果需要下次測(cè)量中考慮。

  光學(xué)輪廓儀光學(xué)聚集傳感器一大類稱為光學(xué)輪廓儀的設(shè)備取
代了使用機(jī)械探針的接觸式輪廓測(cè)量?jī)x。這種設(shè)備利用光學(xué)聚集
傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)輪廓測(cè)量。

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