測(cè)量軸軸線與工作臺(tái)不垂直度對(duì)測(cè)量精度的影響

  由于本儀器是進(jìn)行比較測(cè)量的，因此，此項(xiàng)誤差與被測(cè)件
的本身長(zhǎng)度無關(guān)，而與基準(zhǔn)件和被測(cè)件之長(zhǎng)度差值有關(guān)。這
種不垂直度所引起的誤差是二次誤差:

  立式接觸式干涉儀是應(yīng)用光波干涉原理作高精度的比較
測(cè)量。目前，主要作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)傳遞儀器，可檢定二等或二等
以下的塊規(guī)，也可對(duì)尺寸在160毫米以下的精密工件的微差
尺寸作測(cè)量。

顯微鏡測(cè)量原理

  此儀器應(yīng)用了光波干涉原理，將微小的長(zhǎng)度變化轉(zhuǎn)變?yōu)?br>干涉條紋的移動(dòng)，再記錄干涉條紋的移動(dòng)量來達(dá)到測(cè)量微小
長(zhǎng)度的目的。

  干涉濾光片有兩個(gè)用途，一是用來定分劃板的分度值，
一是來尋找干涉條紋。在干涉箱的后面有兩個(gè)帶十字槽的螺
釘，通過專用調(diào)節(jié)扳手來轉(zhuǎn)動(dòng)它，可以改變干涉條紋的寬度和
方向。

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