應(yīng)用于耐磨表面粗糙度測量的顯微鏡的組成特點

  由此看來，粗糙表面的微不平度的特點和粗糙度參數(shù)的物理
含義的特點不允許實現(xiàn)把測量單位從這一領(lǐng)域的一次基準(zhǔn)器直接
傳遞到標(biāo)準(zhǔn)器進而傳遞到工作測量工具而無顯著的精度損失。

  干涉顯微基準(zhǔn)器裝置，它由干涉顯微鏡、物鏡瞄準(zhǔn)裝置和附
加的線位移測量工具組成；粗糙度基準(zhǔn)樣板。


  現(xiàn)階段用小型真空鍍膜設(shè)備研制校驗樣板的工作已經(jīng)全部完
成，預(yù)言用這個方法在均勻性和精度方面能達到的極限是不現(xiàn)實
的，盡管如此，本報告所論述的結(jié)果表明，現(xiàn)有這種形狀的校驗
樣板對電積分指示計的傳輸特性給出了有效的指示，并且這種制
造鍍層的方法其幅度的節(jié)距至少可分別達到30-1000uin和0.01-0.3in.
可是，最近兩年期間得到的結(jié)果說明（這期間作為經(jīng)濟合作和發(fā)
展組織計劃的一部分，其中有兩塊樣板已在各個國家實驗室中流
通使用。），

  尤其是若用帶滑塊支承的傳感器時，需要較硬的耐磨表面，
但這個不會成為一個不可克服的問題。

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