非常精細(xì)表面粗糙度測量用光學(xué)顯微鏡的類型

  當(dāng)使用光學(xué)方法時(shí)，局部散射和總體反射的區(qū)別也需考慮，
而任何非傳統(tǒng)的粗糙度測量方法應(yīng)該以參數(shù)給出測量結(jié)果，該參
數(shù)要符合公認(rèn)的ISO 粗糙度術(shù)語，一個(gè)光學(xué)和數(shù)字方法的聯(lián)合裝
置已被研制出來，用非接觸的光學(xué)數(shù)字方法給出的結(jié)果是令人滿
意的、全面的，而且符合ISO 術(shù)語，因而非常精細(xì)表面粗糙度的
實(shí)際比對成為可能。

  在實(shí)際的干涉顯微鏡內(nèi)，有關(guān)被研究表面的干涉圖樣的很多
復(fù)雜信息沒被利用。如果被研究表面的結(jié)構(gòu)沿其表面接近于常數(shù)，
那么，其干涉條紋通?？梢员焕斫鉃槭歉叨惹€。
  改進(jìn)這種目視檢查窄小條紋的方法，通常是尋求：（a ），
使用具有陡的密度曲線的照相材料，（b ），使用多光束干涉法，
或者（c ）。借助于一種為等密度法的照相技術(shù)，在各種情況下，
較高精度所換來的只是在表面的主要部位的較少的信息。

  這些缺點(diǎn)與不能使用干涉圖樣的全部信息緊密相關(guān)，從而導(dǎo)
致我們進(jìn)行了下面介紹的初步實(shí)驗(yàn)，在這個(gè)實(shí)驗(yàn)里，然而這一點(diǎn)
卻避免了去確定密度曲線的必要性，因?yàn)楸焕玫膬H僅是一個(gè)灰
色值。通常，當(dāng)表面上的粗糙度參數(shù)的散布是相當(dāng)大時(shí)，這種方
法的分辨率大約在1%左右已足夠，空間分辨率被顯微鏡物鏡的孔
徑所限制，約為1 μm ，這兩者都受到照片象的粒度的不利影響，
但在這里這種影響是微不足道的。

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)