電鍍表面顯微輪廓估算整個(gè)形貌粗糙度,計(jì)量顯微鏡


  工件在使用過(guò)程中，其使用性能取決于整個(gè)粗糙表面而不是
某個(gè)截面輪廓，所以完整三維粗糙度的參數(shù)無(wú)疑是最有意義的，
于是，由于受到儀器的限制，這類參數(shù)沒(méi)法用直接模擬的手段測(cè)
得，要獲得三維粗糙度參數(shù)的“理想方法”是不現(xiàn)實(shí)的（“理想
方法”這個(gè)詞的含義是指：與任何實(shí)用儀器沒(méi)有聯(lián)系的用幾何學(xué)
精確程序來(lái)估算的參數(shù)）。

  為獲得確定表面粗糙度參數(shù)的現(xiàn)實(shí)方法，必需將表面的粗糙
度信息的坐標(biāo)數(shù)目限制到最低限度，廣泛使用的方法是用一個(gè)垂
直于基面平面剖切粗糙表面，這就產(chǎn)生了正交表面輪廓，用輪廓
估算整個(gè)形貌的粗糙度的方法稱作輪廓法，所以表征表面粗糙度
輪廓的參數(shù)具有重大實(shí)用意義，通過(guò)這些參數(shù)可獲得完整的表面
形貌。


  電鍍的顯微形貌以及原始基體的物理和化學(xué)性質(zhì)可以用各種
各樣的參數(shù)來(lái)確定。本文評(píng)論了用于定量測(cè)量基體和電鍍表面顯
微形貌的現(xiàn)代儀器，涉及到與被測(cè)表面輪廓有關(guān)的一些統(tǒng)計(jì)參數(shù)，
使表面輪廓的可能采用高度分布，沿表面方向的周期性等簡(jiǎn)明的
幾何特征來(lái)定義。

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