使用光源的波長(zhǎng)不同顯微鏡的分辨率也會(huì)不同

  對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的要求由于大多數(shù)光學(xué)玻璃、透明塑料和
常用的膠吸收大量的紫外光，所以須使用特制的紫外光物
鏡，與其配用的浸液也必須能透過(guò)紫外光，如無(wú)水甘油等。

  紫外顯微鏡不能用肉眼觀察，必須通過(guò)顯微攝影或其
它的方法記錄其像，目前也使用一種像轉(zhuǎn)換器，它可以把
紫外光像轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光像。

  紅外顯微鏡紅外顯微鏡是為紅外顯微術(shù)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)或附
加配備裝置的顯微鏡，它可用來(lái)檢查某些對(duì)可見(jiàn)光不透明
的物體，在半導(dǎo)體材料的檢測(cè)中應(yīng)用較廣，許多半導(dǎo)體材
料能通過(guò)能量小于它的禁帶寬度所對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光線(xiàn)（如
硅可以通過(guò)波長(zhǎng)大于1120nm的紅外光），因摻雜、金屬化
或因內(nèi)部缺陷而使得半導(dǎo)體材料中自由載流子濃度增加時(shí)，
材料對(duì)光的吸收也增加，當(dāng)用紅外光照射半導(dǎo)體標(biāo)本時(shí)，
各區(qū)域透光的強(qiáng)弱反映出標(biāo)本構(gòu)造的細(xì)節(jié)，電視監(jiān)視器就
顯示出圖像，由此可迅速、準(zhǔn)確、無(wú)損檢測(cè)出材料的不均
勻性，不規(guī)則的擴(kuò)張、外來(lái)雜質(zhì)、晶體內(nèi)的缺陷、蒸鋁岸
上線(xiàn)缺陷，MOS 器件溝道長(zhǎng)度等。

  紅外顯微鏡所顧的像不能用肉眼觀察用電視顯示或特
殊膠片記錄，也可在光路中使用像轉(zhuǎn)換器，以便通過(guò)目鏡
觀察。

  紅外顯微鏡使用的波長(zhǎng)較可見(jiàn)光長(zhǎng)，故分辨率比可見(jiàn)
光顯微鏡低。

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