測(cè)微目鏡讀數(shù)法

首先使測(cè)微目鏡中十字刻線的水
平線平行于干涉圖樣的方向線，以此方向線為基準(zhǔn)線。然后
移動(dòng)水平線使與取樣長(zhǎng)度范圍內(nèi)的五個(gè)最高點(diǎn)及五個(gè)最低點(diǎn)
相切，得到相應(yīng)的10個(gè)讀數(shù)。

采用
干涉顯微鏡測(cè)量時(shí)，不與被測(cè)表面接觸，故對(duì)被測(cè)表面不會(huì)
破壞。同時(shí)這類(lèi)儀器具有高放大倍率(放大500倍)和高鑒
別率，可以測(cè)量表面不平度高度范圍為1～0．03微米
i)光切法和干涉法在測(cè)量時(shí)都不使用測(cè)頭，因此不會(huì)
劃傷零件表面；

ii)可以測(cè)出被測(cè)表面實(shí)際輪廓的谷底，測(cè)量精度較高
(因不受測(cè)頭大小的影響)；

iii)由于測(cè)量?jī)x器(即光切顯微鏡和干涉顯微鏡)比
輪廓儀價(jià)格便宜，使用較廣泛。 

  缺點(diǎn)。

i)在光學(xué)儀器上不能一次測(cè)出許多評(píng)定參數(shù)的參數(shù)值I

ii)輪廓儀一次可以測(cè)出27種參數(shù)及其數(shù)值，而光學(xué)儀
器則要測(cè)量幾次才能得出一個(gè)參數(shù)值，測(cè)量效率低
 
iii)有許多復(fù)雜表面無(wú)法測(cè)量． 

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