光切顯微鏡
測量光切顯微鏡是利用光切原理測量出表
面微觀不平度的深度,從而得出粗糙度等級。光切顯微鏡是由照
明和觀察兩只顯微鏡組成,所以又稱為雙管顯微鏡。光切顯微鏡
可以測定▽3~▽9范圍內(nèi)的粗糙度等級。屬于這類儀器,
有上海光學(xué)儀器廠9J型光切顯微鏡,和進(jìn)口的雙管顯微鏡,
它們在光學(xué)原理和構(gòu)造上都是基本相同的。
光切顯微鏡一般用來測量表征參數(shù)Rz:,如要對表征參數(shù)Ra。
進(jìn)行測定時(shí),則需要確定輪廓中線,然后再經(jīng)過比較煩復(fù)的計(jì)算,
較求Rz復(fù)雜,具體細(xì)節(jié),可參照儀器的說明書或?qū)iT光學(xué)儀器
叢書的指導(dǎo)進(jìn)行。
干涉顯微鏡測量 干涉顯微鏡是利用光波的干涉原理來
測量表面粗糙度。它是把被測表面的微觀不平度以光波干涉帶的
曲折程度顯示出來,和我們利用光學(xué)乎晶測量精密平面不平度的
干涉原理基本相同。當(dāng)表面平直接近理想平面時(shí),則看到的是直
線的干涉條紋;如果表面不平,中間有溝狀凹下,則會看到曲折
的干涉條紋
利用粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行比較,只能近似地判斷出粗糙度等級,
無法測出數(shù)值,所以只適用于粗糙度要求不嚴(yán)的加工表面。
光學(xué)測量法光學(xué)法測量表面粗糙度的儀器主要有光切
顯微鏡和干涉顯微鏡,由于測量時(shí)不和被測表面直接接觸,所以
又稱非接觸測量法。
表面粗糙度的測量
表面粗糙度的測量,從測量方法來講,常用的有比較測量法,
光學(xué)測量法,針描測量法,另外還有印模測量法、激光測量法和
綜合測量法等。
比較測量法 比較法是將待測的加工表面和已知等級的
粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊用目測進(jìn)行比較,確定加工表面粗糙度的高低,是
生產(chǎn)中最常用也最筒便的一種測量粗糙度方法。粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊是
用車、銑、刨、磨等各種不同加工方法制成的一套金屬樣塊,有
平面形也有圓柱形。粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊的工作表面,是在加
工之后,經(jīng)過精密測量,然后標(biāo)上粗糙度等級。
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