光學(xué)測(cè)頭
在測(cè)量顯微鏡的目鏡焦面上或屏幕上刻有細(xì)線,測(cè)量時(shí)使
這些刻線和物鏡投射來(lái)的影象吻合,就猶如機(jī)
械式測(cè)量?jī)x器中使測(cè)頭和被測(cè)對(duì)象接觸一樣,故稱光學(xué)測(cè)頭.
這種光學(xué)測(cè)頭與機(jī)械測(cè)頭的主要區(qū)別在于完全沒(méi)有測(cè)量力
作用
放大倍率
投影透鏡到屏幕的距離越大,放大倍率也越大,但受到
透鏡解象能力的限制.而且在一定光源條件下,屏幕照度
與距離的平方成反比,當(dāng)距離越過(guò)設(shè)計(jì)限度時(shí),屏幕會(huì)迅速
變暗.
使投影透鏡和被測(cè)對(duì)象之間作用距離擴(kuò)大,因此當(dāng)
更換不同放大倍率的透鏡時(shí),被測(cè)對(duì)象和屏幕的位置可以不
必改變.而且,當(dāng)采用反射投影時(shí),在被測(cè)對(duì)象前可以有足
夠的空間來(lái)安裝照明設(shè)備.
使用10--20倍居多。在大型投影儀上
的尺寸很大,可以適應(yīng)放置較大尺寸的被測(cè)件。
對(duì)放大倍率的檢驗(yàn),將玻璃制標(biāo)準(zhǔn)尺放置在顯微鏡載物
臺(tái)上,按屏幕上的十字線,在x、Y兩個(gè)坐標(biāo)方向上進(jìn)行檢
驗(yàn).對(duì)透過(guò)光,放大倍率允差±0.1 5%;對(duì)反射光,放大倍
率允差±0.25%.
由被測(cè)對(duì)象反射光所形成的象,能更準(zhǔn)確地反映其形
狀,所以,反射投影的測(cè)量精度比透射投影好。
投影檢查的總合測(cè)量精度,如果工作臺(tái)坐標(biāo)測(cè)量精度和
放大倍率精度都良好,在現(xiàn)場(chǎng)條件下,可以達(dá)到測(cè)量值1/1000
韻程度。
如果不用儀器上的測(cè)長(zhǎng)機(jī)構(gòu),而在屏幕上和公差帶對(duì)
照,或者用玻璃尺在放大象上量取,其測(cè)量精度最終決定于肉
眼的解象能力,但當(dāng)放大倍率較小時(shí)(譬如20倍),誤差遠(yuǎn)大
于解象極限值0.1mm(透過(guò)光)或0.05mm(反射光)
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