表面的輪廓批量檢測(cè)光學(xué)式計(jì)量工具顯微鏡

由于每個(gè)表面的微觀不平度太小，難以用肉眼直接觀測(cè)，
因此某些放大裝置就成為必要的了．馬上想到的是顯微鏡，
它能清楚地顯示出水平方向的紋理。但我們最感興
趣的是微觀不平度，即峰和谷。由于這些峰和谷是垂直于水
平面的，因而顯微鏡不能顯示出它們的高度．讓我們用一種
假想的簡(jiǎn)單的儀器來代替顯微鏡．該儀器有一個(gè)杠桿，
一端有一支點(diǎn)，支點(diǎn)附近帶有一個(gè)很尖的測(cè)頭，該測(cè)頭
能如實(shí)地描測(cè)出要探測(cè)的表面紋理。在杠桿另一端(很遠(yuǎn))，
能記下放大很多倍數(shù)(例如5000倍)的測(cè)頭上下移動(dòng)
距離。被測(cè)表面和記錄紙用不變的速度作水平方向移動(dòng)時(shí)，
則假想的儀器將把表面的輪廓記錄下來．如果記錄紙移動(dòng)的
速度比被測(cè)表面移動(dòng)速度快些，則各個(gè)微觀不平度可分離開
來，達(dá)到能被人清楚地看見的程度，這樣我們就能探測(cè)和比
較各種表面的輪廓了．當(dāng)然應(yīng)該記住，為了使之清晰，這
些微觀特點(diǎn)的形狀必須加以夸張地放大

例如批量檢測(cè)時(shí)，就不方便，會(huì)使人疲勞，而且肯定很
費(fèi)討間。因此我們需要的是一個(gè)單一的數(shù)字，它將足夠地指出
一些特性上的差別，而這些特性則是影響性能的重要因素。
所有的表面都有復(fù)雜的紋理，到目前為止還沒能找到一種方
法，能把輪廓圖形提供的全部信息歸納成一個(gè)單一的數(shù)字。
可是，我們可以分開來，每次定量一個(gè)特性。

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