精細加工表面觸針針尖半徑對測量粗糙度參數(shù)的誤差

  在測量粗糙度參數(shù)時，最困難的是測量微不平高度小于0.1
μm 的精細加工表面，工業(yè)上使用的干涉顯微鏡，由于其分辨
能力不夠，不能測量這樣表面的粗糙度，而按高倍垂直放大率
的輪廓圖來確定粗糙度參數(shù)伴有相當(dāng)大的系統(tǒng)誤差。
  最重要的系統(tǒng)誤差之一是觸針針尖半徑引起的誤差，如果
在測量微不平高度大于0.1 μm 時可以忽略它，但是在記錄精
細加工表面的輪廓圖時甚至當(dāng)針尖半徑不超過2-4 μm 的情況
下，這個誤差與微不平高度本身比較起來已顯得相當(dāng)大，必須
對它進行修正。
  觸針針尖半徑對測量粗糙度參數(shù)的誤差的影響與下面的情
況有關(guān)，當(dāng)針尖沿著微不平度滑動時，針尖圓弧中心的軌跡與
微不平度的形狀不一致，這就導(dǎo)致在輪廓圖上輪廓高度改變，
測量精細加工表面的粗糙度基本上利用參數(shù)，對具有代表性的
精細加工表面塊規(guī)表面輪廓的分析表明，按其確定的每一個單
個微不平度起伏都可看作是峰頂角劃谷底角約為170 度的三角
形輪廓。

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