表面粗糙度測量基本工具機械測量粗糙度輪廓儀
表面的微不平度是極其小的對象,為了確定它的大小
要求有足夠的分辨率,傳統(tǒng)的線值測量工具對此是無能為力的。
由此看來,粗糙表面的微不平度的特點和粗糙度參數(shù)的物理含義
不允許實現(xiàn)把測量單位從這一領(lǐng)域的一次基準器直接傳遞到標準器
進而傳遞到工作測量工具而無顯著的精度損失,這也就決定了有必
要研制專門基準器。
一等單色標準光源——根據(jù)蘭姆凹陷理論穩(wěn)頻的氣體激光器;
干涉顯微標準器裝置,它由干涉顯微鏡、物鏡瞄準裝置和附加的
線位移測量工具組成粗糙度標準樣板。
表面粗糙度樣板是保證表面粗糙度領(lǐng)域測量統(tǒng)一的基本工具,它
與標準儀器一起組成檢定系統(tǒng)的基礎(chǔ),樣板工作區(qū)域內(nèi)的表面輪廓
不應(yīng)該簡單地模仿實際表面的微不平度,這方面的研究工作確定了
對工作區(qū)域輪廓特性的基本要求,這些要求應(yīng)該保證高精度地檢定
高度參數(shù),另一方面,應(yīng)該使輪廓的形狀能夠用來確定對實際的各
種類型表面進行測量的允許總誤差且使其有好的工藝性,即在可能
接受的制造成本下用已有的制造方法制造出必需數(shù)量的樣板,在制
造粗糙度樣板時,還應(yīng)該考慮到對表面層的物理機械和化學(xué)性能提
出的要求。
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