待測樣品氧化膜截面測定厚度專業(yè)圖像顯微鏡
顯微鏡法是測定的參考方法,它是用刻度光學(xué)系統(tǒng)來觀
察垂直于待測表面的顯微磨片。為了得到合適的截面,試片
要塑鑄在低熔點(diǎn)合金或聚苯乙烯或丙烯酸樹脂糊里。測量應(yīng)
當(dāng)在均勻分布的幾個(gè)部位上進(jìn)行,并應(yīng)當(dāng)取讀數(shù)的算術(shù)平均
值作為測定的結(jié)果。精度是±0.5微米。
測定厚度的分束顯微鏡法是發(fā)射出一束光到陽極氧化的
表面上。一部分光束從陽極氧化膜的表面反射回來,而另一
部分則穿透膜層,從基體金屬表面反射回來。在顯微鏡的目
鏡里,觀察到分離的兩個(gè)明顯圖象的距離與陽極氧化膜的厚
度成正比,校準(zhǔn)顯微鏡能直接給出讀數(shù)。這種方法僅能用于
平表面產(chǎn)生的透明無色膜上。
測量精度為±2微米一干涉法是觀察在特殊顯微鏡目鏡里形成
的干擾線。
本方法僅能用于平表面上得到的厚度為l~9微米的透明無色
膜。精度為±1微米
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