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表面微形狀輪廓儀簡介

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-12  來源:儀器信息網  作者:Mr liao  瀏覽次數:776

表面微凸體的形狀

  任何觸針(輪廓儀)法和大多數剖切法都是故意把垂直
標尺放大。結果是,經過磨削或拋光的表面看起來好象是阿
爾卑斯山或喜馬拉雅山的地形。如果我們把這些表面輪廓如
實地恢復到它們的真實形狀,我們將發(fā)現這些表面微凸體要
平緩得多,而任何高峰或低谷的平斜度不會大于幾度,也許
不大于5 00這也適用于用粗銼刀銼成的那些粗糙表面,‘即溝
槽較深.但平均斜度仍舊只有幾度。
  當然也有一種明顯的例外情況。對于經過仔細退火的晶
體材料試件,各個晶粒會以原狀伸出到外層表面。這時,晶
粒面會與表面成一很大的角度。例如,對于具有立方晶格結
構的固體,會出現與總平面成90°的階梯。對于經過磨削或
拋光以及電拋光的表面,不會發(fā)生上述情況,但也許頂上二、
三個原子是例外。微觀幾何結構與原子結構不同,它的斜度
比較平緩。把表面說成是像起伏的丘陵,而不是山峰更為確
切(這樣也許不太逼真)。


有~種經過改進的反射法。其中細的電子錐按非常密集
的折線對表面進行掃描(在電視業(yè)的術語中,稱這種掃描圖
為“光柵”)。試件所散射出的電子可用集電柵聚集起來,以
便用來調節(jié)電視顯象管中光束的亮度;這種對電視屏幕進行
掃描的光束與對試件進行掃描的電子束同步

。這種方法稱為顯微探針法或體視掃描法,雖然它的分
辨率不及其他的電子顯微鏡測量法,但所得到的圖肜是非凡
的三維圖

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.sgaaa.com)

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