微觀幾何特征，

在微米和亞微米范圍內(nèi)對(duì)結(jié)構(gòu)的精確測(cè)量變得越來(lái)越重要。因?yàn)?br>無(wú)限的小型化，對(duì)于產(chǎn)品的分辨率和微電子與微觀結(jié)構(gòu)的度量是很重
要的，對(duì)于微粒尺寸分布的測(cè)量也很重要，例如，在環(huán)境保護(hù)中的應(yīng)
用。大量的測(cè)量方法適用于完成這些任務(wù)，它由傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡范圍
延伸到紫外線范圍。通過(guò)電子顯微鏡到高分辨率近場(chǎng)顯微鏡方式，例
如，原子力顯微鏡。

光學(xué)顯微鏡包括普通的明暗場(chǎng)顯微鏡，共焦顯微鏡，在可見(jiàn)光譜
和紫外線范圍內(nèi)的干涉顯微鏡。作為非微觀的附加特征，物體的遠(yuǎn)場(chǎng)
衍射成像能被估算出。對(duì)于照射在物體上的放射光線的互相影響的基
本研究和理論模型，都是對(duì)這些方法的額外的幫助。非光學(xué)的高分辨
率顯微鏡測(cè)量方法[掃描電子顯微鏡(SME)，原子力顯微鏡(AFM)等]普
遍應(yīng)用于檢查和評(píng)估微觀幾何構(gòu)造。這些是光學(xué)顯微鏡方法所不能解
決的，作為對(duì)光學(xué)測(cè)量方法的補(bǔ)充。在對(duì)用于物體結(jié)構(gòu)的掃描探針和
顯微鏡系統(tǒng)特定擴(kuò)張之間的互相作用做進(jìn)一步研究之后．例如，附加
精密長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)，高分辨率顯微鏡方法也用于校正。目前為止，這
種方法還不太可能，因?yàn)楣鈱W(xué)方法原理在能夠?qū)崿F(xiàn)的分辨率方面還受
限制。

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