覆層制品厚度斷面測(cè)量多功能工具光學(xué)顯微鏡

覆層厚度的測(cè)量，可根據(jù)測(cè)量對(duì)象結(jié)合各種方法的特點(diǎn)和所
適用的范圍，來(lái)選擇適宜的方法和儀器．
  測(cè)量覆層厚度，最重要的是指測(cè)量覆層工作面的覆層厚度，
如軸套內(nèi)表面的覆層厚度、某些形狀復(fù)雜或曲率半徑很小的覆層
制：鋁的覆層厚度。在合適方法選定的基礎(chǔ)上，對(duì)于儀器的選用，
還得考慮有合適的測(cè)頭，以滿足具體測(cè)量的需要．
  有些覆層制品其覆層厚度是非常均勻的，如鍍錫薄鋼板，一
般可采用稱重法進(jìn)行平均值測(cè)量。但更多的覆層制品其覆層厚度
往往不是很均勻的，因此必須測(cè)量出最小覆層厚度，以達(dá)到所規(guī)
定的技術(shù)要求．在這種情況下，測(cè)頭要小到能逐點(diǎn)測(cè)量，從而可
測(cè)出整個(gè)覆層制品的覆層厚度分布情況。這對(duì)于大多數(shù)無(wú)損測(cè)量
方法是易于實(shí)現(xiàn)的。

在覆層制品生產(chǎn)單位和用戶之間，往往要進(jìn)行抽樣和選點(diǎn)測(cè)
量，以保證覆層制品技術(shù)要求的最小覆層厚度，通常將這種測(cè)量
。稱為仲裁測(cè)量。這種測(cè)量一般具有直觀、可靠、準(zhǔn)確度高等特
點(diǎn)，過去都把斷面顯微鏡測(cè)量作為仲裁測(cè)量。但是，顯微鏡測(cè)攝
厚度大約在8微米以內(nèi)，其準(zhǔn)確度較低，難以達(dá)到技術(shù)要求，并需
要有專門訓(xùn)練的技術(shù)人員。隨著電子技術(shù)的進(jìn)步，陽(yáng)極溶孵庫(kù)侖
測(cè)厚儀的應(yīng)用日益普遍，用這種方法可測(cè)量10微米以下的覆層厚
度，測(cè)量重現(xiàn)性較好，準(zhǔn)確度較高，誤差可小于±5％，因而陽(yáng)
極溶解庫(kù)侖法覆層厚度測(cè)量可作為幾個(gè)微米范圍內(nèi)覆層厚度的仲
裁測(cè)量。
  輪廓儀在測(cè)量為l微米以下的覆層厚度時(shí)，具有很高的準(zhǔn)確
度，但高級(jí)的輪廓儀價(jià)格較為昂貴，在有條件的地方，可以采用
．輪廓儀作為特薄覆層厚度的仲裁測(cè)量。

用絕對(duì)誤差表示測(cè)量準(zhǔn)確度；但若被測(cè)覆層厚度相差很大，則
更能反映測(cè)量準(zhǔn)確度。通常，用覆層測(cè)厚儀測(cè)量薄覆層厚度時(shí)，
一般絕對(duì)誤差較小，而相對(duì)誤差很大，但用覆層測(cè)厚儀測(cè)量厚覆
層厚度時(shí)，絕對(duì)誤差較大，而相列‘誤差較小。在各種覆層厚度測(cè)
量方法標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了覆層厚度測(cè)量的相對(duì)誤差和絕對(duì)誤差，即薄
覆層不超過規(guī)定的絕對(duì)誤差，而厚覆層不超過規(guī)定的相對(duì)誤差。
有的儀器規(guī)定其誤差為相對(duì)誤差加絕對(duì)誤差，儀器在測(cè)量薄覆層
時(shí)不應(yīng)超過規(guī)定的絕對(duì)誤差。

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)