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覆層厚度測量試樣磨制金相制樣分析光學顯微鏡

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-12  來源:儀器信息網  作者:Mr liao  瀏覽次數:198


試樣磨制

  鑲嵌好的試樣磨光和拋光,少量的可用手磨光的拋光機進
行,大批量的可用自動機進行。

  試樣拋磨方法通常是采用逐次變細的磨料,最后可用600粒
磨料或者更細的磨料,對固定的試樣進行研磨.在研磨過程中,
研磨表面應垂直子覆層表面,為此可在研磨前,在平行研磨表面
韻外側劃一記號,通過簡單的測量,可以發(fā)現研磨中是否發(fā)生傾
斜,以及發(fā)生多大的傾斜。研磨應施加合適的壓力,而研磨方向
可和覆層表面成45°,每當磨料向較細變換一次,研磨方向與前
次方向改變90°進行。研磨中應注意發(fā)現有無異?,F象,以便隨
對加以排除


覆層和基體材料間界線不明顯時,為了便于觀測,則往往需
要先將磨好的試樣(磨片)進行化學腐蝕,如測量鋁上氧化膜之
類的,界限較為明顯,則可不進行腐蝕,通常視其具體情況而
定.為了界線的浸蝕清晰,選用合適的浸蝕劑是必要的,
列出了測量鍍層厚度所常用的浸蝕劑。試樣通過浸蝕可消除硬金
屬在軟金屬上的劃痕。對于不明顯的界線或呈現覆層厚度的不規(guī).
律性變化,應通過補充拋光和浸蝕達到呈現清晰的界面.


測量
  對于厚的覆層厚度測量,放大倍數應該使視場直徑是膜厚的
1.5一3倍,這不包括保護層。對于薄的覆層厚度測量,同樣放大
倍數滿足不了視場直徑與膜厚的上述關系,還應盡可能適當地選
擇較大的放大倍數。

  測量可采取目鏡觀測,也可投影到毛玻璃上,還可拍攝,或
者是用校正的刻度尺測量,總之可根據具體情況和要求進行。

  測量儀器一般采用螺絲游動測微計和目鏡測微計,后者準確,
度較差.測量試樣的覆層厚度時,磨片表面與光軸應盡可能準確
垂直。利用的視場直徑一般不大于其本身的2/3,光欄孔徑不大
于物鏡孔徑的2/3。

  測量前和測量后應對儀器進行標定,標定和測量應由同一操
作者完成。目鏡測微計重復標定誤差應小于1%,載物臺測微計
的兩條線的間距應在0.2微米或0.1%以內。目鏡測微計移動的回
程間隙也會引起誤差,通常在對位過程中,將測微計十字線交叉
的一邊調到與待鋇4覆層的一邊相重合,然后再與另一邊相重合,
并且每次測量都以同一方向旋動對準,從而消除回程間隙所引起
的誤差。
  測量一般對每個測點至少應測3次,對于嚴格要求的仲裁
性測量,則應在每一個測量點上測量10次.

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.sgaaa.com)

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