零件加工精密制造表面質(zhì)量檢測(cè)光切顯微鏡

隨著精密、超精密制造技術(shù)的發(fā)展，對(duì)零件表面加工質(zhì)量的要求越
來(lái)越高，在追求和探索各種超精密表面加工新工藝、新方法的同時(shí)
，對(duì)表面質(zhì)量的檢測(cè)理論、檢測(cè)方法與檢測(cè)儀器提出了更高的要求
。表面質(zhì)量檢測(cè)理論必須適應(yīng)各種納米表面加工工藝研究的新要求
，表面質(zhì)量檢測(cè)評(píng)價(jià)方法必須科學(xué)合理以適應(yīng)各類(lèi)超精密零件的制
造水平和使用特性，檢測(cè)儀器的檢測(cè)精度必須高于零件加工制造的
精度水平才能有效指導(dǎo)加工工藝。目前傳統(tǒng)的機(jī)械觸針接觸式、光
學(xué)干涉非接觸方式的表面質(zhì)量的檢測(cè)理論與方法已經(jīng)不能完全適應(yīng)
納米級(jí)表面質(zhì)量檢測(cè)的新要求。原子力顯微鏡發(fā)明之后的二十多年
里，其在精密工程領(lǐng)域得到了大量應(yīng)用，成為納米量級(jí)機(jī)械加工表
面質(zhì)量與表面形貌檢測(cè)的重要儀器。一方面，原子力顯微鏡很好地
實(shí)現(xiàn)了納米量級(jí)機(jī)械加工表面質(zhì)量的高精度檢測(cè)，豐富了三維納米
表面形貌的測(cè)量理論，更精確地實(shí)現(xiàn)了超精密加工表面形貌的仿真
和預(yù)報(bào)；另一方面，由于其表面測(cè)量的主要工作原理宏觀上與傳統(tǒng)
的機(jī)械觸針式測(cè)量方法極其相似，因此在目前測(cè)量納米級(jí)表面形貌
時(shí)沿用了傳統(tǒng)的測(cè)量理論體系。事實(shí)上，對(duì)于基于原子力顯微鏡的
納米表面測(cè)量，既需要完善測(cè)量理論體系，彌補(bǔ)測(cè)量方法和儀器表
征方面的不足，又需要對(duì)原子力顯微鏡測(cè)量納米表面的測(cè)量機(jī)制和
評(píng)價(jià)表征方法進(jìn)行新的探索。

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