儀器信息網(wǎng)訊 7月31日，日立高新技術(shù)公司(以下簡稱“日立高新”)全球同步正式推出重磅電鏡新品——肖特基場發(fā)射掃描電鏡SU7000，它縮短了通過采集多種信號獲取樣品多種信息的時間，真正實現(xiàn)了高通量的觀察與分析。

SU7000外觀圖

　　掃描電子顯微鏡(SEM)可通過檢測樣品激發(fā)出的二次電子、背散射電子、X射線等信號，獲得從微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分等各種信息，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生物、材料等諸多領(lǐng)域。隨著SEM的應(yīng)用范圍在不斷擴大，對觀察時間的縮短、信號的迅速高效采集提出了更進一步的需求。

??? 近年，冷場技術(shù)幾乎是高分辨觀察SEM市場的主流，但近來SEM市場開始顯現(xiàn)出一些微妙的變化，用戶中有一些特定需求的聲音逐漸浮出：“冷場SEM雖然分辨率高且穩(wěn)定，但在超大束流分析時還有些不足”，所以在超大束流分析（如WDX）熱場便成為一種新的需求。結(jié)合客戶的心聲，日立高新經(jīng)過兩年時間開發(fā)，推出了全新一代熱場技術(shù)掃描電鏡-SU7000。

　　此次推出的SU7000采用全新設(shè)計的探測器，使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)獲得的信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD)，以設(shè)置最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。

　　而且，SU7000還配置了可同時6通道顯示界面(前代機型只能同時顯示4通道)，進一步升級SEM控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度，由此實現(xiàn)了樣品的高通量觀察。

　　它還標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

　　據(jù)悉，日立高新將在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美國馬里蘭州舉辦的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕張展示中心(千葉縣千葉市)舉辦的“JASIS 2018”上展示這款SU7000，預(yù)計每年全球銷量有望達150臺。

　　日立高新表示：“日立高新技術(shù)科學(xué)系統(tǒng)事業(yè)部以2020年成為電子顯微鏡行業(yè)全球第一為中期戰(zhàn)略目標(biāo)，今后仍將全力推動產(chǎn)品研發(fā)與市場推廣，努力為全球制造業(yè)作出更大的貢獻。作為先進、前沿的事業(yè)創(chuàng)新型企業(yè)，今后以成為提供高新技術(shù)和解決方案的全球一流企業(yè)為目標(biāo)，始終站在客戶的立場，快速滿足客戶和市場需求?！?p>　　【主要特點】

　　1.在相同WD的條件下，可同時實現(xiàn)二次電子、背散射電子觀察與EDX分析

　　2.最多可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示

　　3.在最大像素10240 x 7680時，也可獲得圖像數(shù)據(jù)

　　4.同級別*設(shè)備中最多的可配置18個附件接口

　　5.支持最低300Pa的低真空模式(選配)

　　*空間分辨率在1 nm/1 kV以下

　　【主要規(guī)格】

產(chǎn)品名稱

SU7000

電子源

ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）

二次電子分辨率

0.8 nm（加速電壓 15 kV）

0.9 nm（加速電壓 1 kV）

加速電壓

0.1～30 kV

放大倍率

20～2,000,000倍

束流

最大200 nA

樣品臺

X/Y/Z : 135 x ? 100 x 40 （mm）

　　■產(chǎn)品咨詢

　　日立高新技術(shù)(上海)國際貿(mào)易有限公司北京分公司

　　生命科學(xué)系統(tǒng)本部 先端分析裝置部