2021年5月，多功能高分辨率磁光克爾顯微成像系統(tǒng)在清華大學(xué)順利完成安裝和調(diào)試，并獲得用戶的高度認(rèn)可。該系統(tǒng)是由北京航空航天大學(xué)集成電路學(xué)院趙巍勝教授指導(dǎo)，張學(xué)瑩老師帶領(lǐng)團隊根據(jù)多年積累的磁疇動力學(xué)實驗技巧和最 新的磁學(xué)及自旋電子學(xué)領(lǐng)域的熱點課題研究需求設(shè)計的，也是Quantum Design中國與致真精密儀器（青島）有限公司合作推出后在國內(nèi)完成的首套安裝和驗收。?

致真精密儀器（青島）有限公司工程師與用戶的現(xiàn)場合影

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安裝精彩瞬間

相比于傳統(tǒng)的磁光克爾顯微鏡，該系統(tǒng)除了擁有高達300 nm的縱向和極向克爾成像（分別對應(yīng)面內(nèi)和垂直各向異性樣品磁疇測量），還增加了靈活的磁場探針臺及面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的磁場和高度智能化的軟件控制系統(tǒng)。其中磁場探針臺可以同時施加面內(nèi)和垂直的磁場，通過智能控制系統(tǒng)，能夠讓用戶利用軟件定義電、磁等多種想要的波形，一鍵觸發(fā)后，在樣品上可同步施加垂直/面內(nèi)磁場、電流脈沖、微波信號，進行磁光克爾成像及微區(qū)磁滯回線提取、局部飽和磁化強度Ms表征、局部各項異性能K的表征、海森堡交換作用常數(shù)Aex，Dzyaloshinskii-Moriya作用的表征等，在磁性薄膜材料和自旋電子器件動力學(xué)分析領(lǐng)域有著突出的優(yōu)勢。

這套多功能高分辨率磁光克爾顯微成像系統(tǒng)歷經(jīng)5年多的研發(fā)歷程，在北航集成電路學(xué)院、北航青島研究院的支持下，經(jīng)過了3輪迭代和試用，在致真精密儀器（青島）有限公司團隊進行工程化之后，形成了性能穩(wěn)定，功能多樣，多場景適配改裝方便的系統(tǒng)。該產(chǎn)品還獲得了青島市市長杯創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎。

北航團隊在該設(shè)備的強大功能支撐下，在DMI測量[1]、自旋軌道矩（SOT）效應(yīng)研究[2]、磁疇壁動力學(xué)[3-4]、磁性材料和自旋電子器件研究[5]等方面，取得了豐富的成果。同時，該設(shè)備還可用于永磁材料和硅鋼等軟磁材料的磁疇分析等。

該設(shè)備的成功落戶標(biāo)志著國產(chǎn)商用磁光克爾顯微鏡領(lǐng)域的長期空白得以彌補。作為北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系孵化的公司，致真精密儀器（青島）有限公司傳承了北航文化，響應(yīng)國家在高端科研設(shè)備方面的需求，與時俱進，精益求精，敢于啃硬骨頭，做高品質(zhì)高可靠性產(chǎn)品。同時，作為本土企業(yè)，致真精密儀器會始終與用戶保持良好溝通，緊密追蹤前沿?zé)狳c，以用戶的需求和科學(xué)發(fā)展方向為指引，將最 新的測試技術(shù)融入到產(chǎn)品中去，為新老用戶持續(xù)做好服務(wù)，支持中國甚至全球更多的科研者的科學(xué)探索。目前，該系統(tǒng)已經(jīng)更新至第三代，感謝所有提出過建議的老師和同學(xué)們，也歡迎大家繼續(xù)提供寶貴的意見！

在此，特別感謝清華大學(xué)的老師對我們的信任與支持，祝他們科研順利，碩果累累！

目前，這款多功能高分辨率磁光克爾顯微成像系統(tǒng)已經(jīng)獲得了清華大學(xué)、中國科學(xué)院物理研究所、北京工業(yè)大學(xué)、上?？萍即髮W(xué)等客戶多套訂單。

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產(chǎn)品基本參數(shù)：

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? 極向和縱向克爾成像分辨率可達300 nm；

? 配置二維磁場探針臺，面內(nèi)磁場最 高達1 T，垂直磁場最 高達0.3 T（配置磁場增強模塊后可達1.5 T）；

? 快速磁場選件磁場反應(yīng)速度可達1 μs；

? 可根據(jù)需要選配直流/ 高頻探針座及探針；

? 可選配二次諧波、鐵磁共振等輸運測試；

? 配置智能控制和圖像處理系統(tǒng)，可同時施加面內(nèi)磁場、垂直磁場和電學(xué)信號同步觀測磁疇翻轉(zhuǎn)；

? 4K~800K，80K~500K 變溫選件可選。

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樣機體驗：

目前，致真精密儀器（青島）有限公司可對相關(guān)領(lǐng)域感興趣的科學(xué)工作者提供測樣體驗，歡迎感興趣的老師或同學(xué)通過撥打電話010-85120280或發(fā)送郵件至info@qd-china.com體驗磁光克爾顯微成像全新技術(shù)！

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參考文獻：

[1]. Cao, A. et al. Tuning the Dzyaloshinskii–Moriya interaction in Pt/Co/MgO heterostructures through the MgO thickness. Nanoscale 10, 12062–12067 (2018).

[2]. Zhao, X. et al. Ultra-efficient spin–orbit torque induced magnetic switching in W/CoFeB/MgO structures. Nanotechnology 30, 335707 (2019).

[3]. Zhang, X. et al. Low Spin Polarization in Heavy-Metal–Ferromagnet Structures Detected Through Domain-Wall Motion by Synchronized Magnetic Field and Current. Phys. Rev. Appl. 11, 054041 (2019).

[4]. Zhang, Y. et al. Domain-Wall Motion Driven by Laplace Pressure in CoFeB/MgO Nanodots with Perpendicular Anisotropy. Phys. Rev. Appl. 9, 064027 (2018).

[5]. Zhang, X. et al. Spin‐Torque Memristors Based on Perpendicular Magnetic Tunnel Junctions for Neuromorphic Computing. Advanced Science 8, 2004645 (2021).