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? ? ?? 2018年11月,TESCAN先后發(fā)布了三款掃描電子顯微鏡新品:S9000G超高分辨型鎵離子源雙束FIB系統(tǒng),S9000超高分辨型場發(fā)射掃描電鏡,S8000X高分辨型氙等離子源雙束FIB系統(tǒng)!作為全球電子顯微鏡及聚焦離子束等設備的主要供應商,TESCAN一直致力于新產(chǎn)品、新技術(shù)的創(chuàng)新和研發(fā),以滿足客戶需求。
? ? ?? 截至目前,TESCAN已于今年發(fā)布了5款掃描電子顯微鏡新品,TESCAN第四代電子顯微鏡TESCAN?S8000系列和TESCAN?S9000系列產(chǎn)品線已發(fā)布齊全。
? ? ?? 其中包括:TESCAN?S8000高分辨型熱場發(fā)射掃描電鏡,S8000G高分辨型Ga-FIB,S8000X高分辨型 Xe Plasma-FIB;TESCAN?S9000超高分辨型熱場發(fā)射掃描電鏡,S9000G超高分辨型Ga-FIB,S9000X超高分辨型Xe Plasma-FIB。
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TESCAN超高分辨型Ga FIB-SEM新品 S9000G
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TESCAN超高分辨型FE-SEM新品 S9000
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TESCAN高分辨型Xe Plasma-FIB新品 S8000X
? ? ? TESCAN第四代電子顯微鏡S9000系列是TESCAN最新推出的超高分辨型電子顯微鏡系列,包括三款電子顯微鏡產(chǎn)品,而此次發(fā)布的是S9000超高分辨型FE-SEM和?S9000X?超高分辨型Xe Plasma-FIB。
? ? ?? S9000系列在軟硬件方面均經(jīng)過全新設計,配備了TESCAN最新的Triglav?電子鏡筒技術(shù)和Orage?離子鏡筒技術(shù),并提供Ga離子源和Xe等離子源多種離子源可供選擇。TESCAN第四代電鏡還配置了全新立體設計的Essence? 計算機處理系統(tǒng),具有非常便捷的操作界面和面向應用流程的可定制化軟件布局;針對FIB加工和電子束光刻應用,還提供先進的DrawBeam? 功能。
? ? ? TESCAN?S9000超高分辨型FE-SEM配備Triglav?電子鏡筒,具有優(yōu)化的透鏡內(nèi)探測器系統(tǒng)和高性能電子信號過濾和收集能力。S9000系列還擴展了檢測能力,能夠采集能量過濾后的軸向背散射電子信號,可以選擇性收集低損耗背散射電子,獲得更好的對比度和表面靈敏度。
? ? ? TESCAN?S9000G是一款超高分辨型的鎵離子源FIB-SEM系統(tǒng),適用于超薄TEM樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務。S9000G?配置了Orage? FIB鏡筒,不僅為納米加工提供了最佳的精度,高達100 nA的大離子束流,還可以對生物樣品和材料進行指定位置、大體積的三維逐層掃描,圖像具有更出色的對比度。得益于低電壓下離子束的出色分辨率和性能,TESCAN?S9000G可以快速獲得最佳質(zhì)量的小于20nm的超薄TEM樣品。
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