自準(zhǔn)直儀測(cè)量精度-高度計(jì)可分辨高度約為微米
自準(zhǔn)直儀法測(cè)角
大于10°的角度是量角器可以區(qū)分的物理角度,其測(cè)量精度可
以達(dá)到約15弧分;對(duì)于小于2弧分的角度.是干涉儀可以區(qū)分的光
束偏離角.其測(cè)量精度為0.1弧秒。高度計(jì)可分辨的高度約為2μm
。幾種測(cè)量?jī)x之間的缺口部分可由
來(lái)填補(bǔ)?;诮咕嗪吞綔y(cè)器.自準(zhǔn)直儀的分辨率可以從30到0
.05弧秒,測(cè)量范圍從幾度到幾分。
多數(shù)自準(zhǔn)直儀是反射式讀取,這意味著讀取的是表面反射角度
.而非(翻倍的)反射鏡偏轉(zhuǎn)角度。折射和多次反射改變了這一比例
因子。
在操作中,自準(zhǔn)直儀是面向測(cè)試或參考對(duì)象的,返回光線的位
置是可對(duì)比的。這里有兩種基本模式:自身比較和參照對(duì)比。對(duì)于
平行平板或小楔角,前表面和后表面的返回光線可作比較;對(duì)于相
差180。(7c弧度)的情況,以順時(shí)針和逆時(shí)針?lè)祷毓饩€進(jìn)行比較;
對(duì)于任意角度的情況.則需要一個(gè)參考件。
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