圓形元件切割成矩形截面分析金相顯微鏡

切割
切割實(shí)際上是兩個(gè)方向上的重復(fù)鋸切。通常我們希望購(gòu)買柵格形狀
的材料然后把它切成許多小塊元件。對(duì)一塊大晶圓進(jìn)行上盤、拋光、加
工、清洗、鍍膜等操作，要比對(duì)許多小元件進(jìn)行這些操作容易得多，切
割是最后一步。

為了把圓形元件切割成矩形．元件可以是面居中、角居中或任一尺
寸的邊緣居中．仔細(xì)規(guī)劃可以最大程度提高產(chǎn)量。闡燕褥

為了使小元件切口寬度引起的成品損失最小化，可使用窄刀片。窄
的刀片實(shí)際上更靈活、更脆弱。恰當(dāng)?shù)牡镀瑢?duì)準(zhǔn)、支撐、平衡、冷卻液
流、給進(jìn)速度是非常關(guān)鍵的。方形片可能會(huì)引起偏心切割。

隨著刀片的磨損，其外邊緣會(huì)變得圓滑，這會(huì)造成切割時(shí)槽底部不
是方形。為了從被切元件上獲得一個(gè)平直角邊緣，刀片必須完全切至工
件以下并進(jìn)入支撐塊，而且應(yīng)該定期修整。

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